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原子層沉積(ALD)設(shè)備等高端半導(dǎo)體設(shè)備、全套半導(dǎo)體線的研發(fā)和生產(chǎn)

熱烈祝賀科民電子20套集成電路設(shè)備成功進(jìn)入廈門大學(xué)產(chǎn)教融合平臺
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科民電子集成電路產(chǎn)教融合成套設(shè)備含曝光機、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機共20臺
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原子層沉積(ALD)設(shè)備等高端半導(dǎo)體設(shè)備、全套半導(dǎo)體線的研發(fā)和生產(chǎn)

 刻蝕機ICP-100
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 刻蝕機RIE-100
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 磁控濺射臺-PVD-100
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 雙腔熱型原子層沉積機TALD-D系列
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 365nmLED光源曝光機
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 超大批量生產(chǎn)型原子層沉積系統(tǒng)TALD-1000系列
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生產(chǎn)型原子層沉積系統(tǒng)

走進(jìn)科民

海外微電子設(shè)備制造團(tuán)隊與  中科院微電子所  8室專家共同成立

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原子層沉積(ALD)設(shè)備等高端半導(dǎo)體設(shè)備、全套半導(dǎo)體線的研發(fā)和生產(chǎn)

2022

10 09

為了培育選樹具有行業(yè)頂尖技能水平的科技創(chuàng)新先進(jìn)典型,大力弘揚勞模精神、勞動精神、工匠精神和科學(xué)家精神,進(jìn)一步激發(fā)廣大科技工作者建功立業(yè)的積極性、主動性和創(chuàng)造性,10月8日,中國科學(xué)院工會舉辦中國科學(xué)院第三屆“科苑名匠”發(fā)布活動,全院共12個團(tuán)隊和7名個人被授予中國科學(xué)院第三屆“科苑名匠”稱號。科民電子董事長夏洋榮獲中國科學(xué)院第三屆“科苑名匠”稱號。 夏洋老師長期專注于集成電路技術(shù)及裝備研究,為微電子所儀器設(shè)備研發(fā)中心創(chuàng)始人、嘉興科民電子設(shè)備技術(shù)有限公司董事長,帶領(lǐng)研究團(tuán)隊瞄準(zhǔn)國家戰(zhàn)略需求,突破了多項關(guān)鍵核心技術(shù)。他在不斷的努力與嘗試中攻堅克難,在多項國家重大科技計劃項目中承擔(dān)微電子儀器設(shè)備的研發(fā)工作,成功開發(fā)出原子層沉積系統(tǒng)、浸沒式等離子注入機、電感耦合等離子體刻蝕機、365納米i線曝光機等集成電路裝備,同時研發(fā)出原創(chuàng)變電場原子層沉積、吸附反應(yīng)外延等裝備,實現(xiàn)了我國集成電路高端設(shè)備的重大突破。研發(fā)的儀器設(shè)備在國內(nèi)外科研單位銷售超千臺,有力的支撐了中科院、北京大學(xué)、清華大學(xué)等百余家高校院所的前沿科學(xué)研究,同時通過核心技術(shù)支持和促進(jìn)了我國多家集成電路裝備龍頭企業(yè)的發(fā)展。作為一名老師,他為了能讓學(xué)生更直觀的了解和掌握微電子儀器操作方法,配套專業(yè)課程專門研發(fā)了集成電路系列科教融合設(shè)備,采用創(chuàng)新的“講授+實驗”教學(xué)模式,為集成電路工藝技術(shù)培養(yǎng)了大量的工程性專業(yè)人才。
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